我公司现在已经开发出大规模集成电路光致剂抗蚀剂用材料，其可以用于i线、g线光刻胶的制作。其具有光刻分辨线幅好、抗碱性强等优点。

【PAC-TF感光剂】
指标：
1、外观：黄色粉末
2、粘度（15%的独乙醚溶液25℃）：4-5mm2/s
3、低沸点挥发份（%）：≤2
4、Ph值： ≥5
5、金属离子含量：≤100ppm
特点：PAC-TF感光剂是用低分子量的纯对甲酚酚醛树脂与2.1.4-重氮萘醌磺酰氯酯化而成，感光剂分子量较低，但由于选用了阻溶能力较强的纯对甲酚树脂，加大了酯化导入率，使PAC-TF感光剂具有较高的感度和较强的阻溶能力，可以用于大规模集成电路光致剂抗蚀剂。