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具有国际先进、领先水平的新型光活性化合物研制成功

    2006年10月22日由山东省科学技术厅主持邀请国内PS版行业专家、知名企业及用户代表出席我公司召开的“新型光活性化合物研制与中试技术鉴定会”。此次鉴定会所鉴定的五种光活性化合物PAC-XF、PAC-SF、PAC-EF、PAC-NF和PAC-TF是采用含量高、双邻位缩聚值大的树脂与2,1,4-重氮萘醌磺酰氯酯化而成。经与会专家一致认定前4种光活性化合物设计思路新颖,结构与组成具有新颖性和创造性。光活性化合物PAC-TF国际上已有同类产品,但合成工艺路线有所创新,所得产品综合性能经检验达到国际领先水平。所鉴定的化合物应用在PS版中,曝光前具有较强的抗碱性或阻溶能力,曝光后在很弱的碱溶液中有良好的溶解性,表现出极高的显影宽容度。经国内多家主要PS版生产厂家与感光胶生产厂家使用,以及国内相关单位的检测和与国外同类产品的对比试验,表明所鉴定的化合物制成的PS版具有感度高、显影宽容度大、分辨率高、网点还原性好,以及耐印力高等一系列优点,综合性能指标达到国际先进水平。为国内外PS版生产厂家提供了性能优异的新型光活性化合物,为我国PS版性能赶超国外先进水平提供了保障。我公司已就该项目申请中国发明专利。

    此次鉴定的新型光活性化合物既可以用于传统阳图PS版(包括CTcP版),又可用于LCD成像刻蚀用光致抗蚀剂,还可用于超大规模集成电路用i线光致抗蚀剂,市场应用前景广阔。
来源:      时间:2006-10-23 11:22:30

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